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參數(shù)化測(cè)試

首頁(yè) 產(chǎn)品與技術(shù) 測(cè)試系統(tǒng)

FS800

半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

參數(shù)測(cè)試 可靠性測(cè)試 快速脈沖測(cè)試

FS800器件參數(shù)分析儀是概倫電子的新一代半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備。

  • 采用自主研發(fā)的測(cè)試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線，支持包括高精度SMU在內(nèi)的多種自研測(cè)試模塊，功能全面，配置靈活，擴(kuò)展性強(qiáng)。

  • 在一個(gè)FS800系統(tǒng)中幾乎可完成所有半導(dǎo)體器件的電性表征，支持電流電壓(IV)測(cè)試、電容電壓(CV)測(cè)試、脈沖式IV測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、低頻噪聲測(cè)試、高速波形發(fā)生與釆集測(cè)試等能力。

  • 采用靈活的模塊化體系結(jié)構(gòu)，在同一機(jī)箱內(nèi)可同時(shí)安裝高精度SMU和低漏電矩陣開關(guān)模塊，在單臺(tái)臺(tái)式設(shè)備內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)器件電性參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)試。

  • 直觀的18.5英寸觸摸屏界面。

  • 內(nèi)置電性參數(shù)測(cè)試軟件LabExpress提供豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，支持腳本化編程平臺(tái)，可以靈活實(shí)現(xiàn)自定義算法和快速擴(kuò)展。

  • 廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測(cè)試、器件可靠性等研究領(lǐng)域

下載產(chǎn)品單頁(yè)

產(chǎn)品亮點(diǎn)

  • 性能強(qiáng)大

    量程寬精度高
    支持高速采樣時(shí)域信號(hào)采集、
    任意線性波形生成

  • 功能完善

    單機(jī)可支持高精度
    IV、CV、脈沖IV、高速波形
    和瞬態(tài)IV采樣等測(cè)試應(yīng)用

  • 可擴(kuò)展性強(qiáng)

    可支持高達(dá)24個(gè)SMU
    或132端口矩陣開關(guān)
    支持同時(shí)安裝高精度源表
    和低漏電矩陣開關(guān)模塊

  • 測(cè)試效率高

    單臺(tái)設(shè)備內(nèi)可完成
    晶圓級(jí)電性參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)試
    支持并行測(cè)試

  • 簡(jiǎn)單易用

    內(nèi)置labExpress測(cè)試軟件
    提供豐富的內(nèi)置測(cè)試算法庫(kù)、
    數(shù)據(jù)分析工具和靈活的自定義能力

產(chǎn)品應(yīng)用

  • 工藝制程研發(fā)與
    器件參數(shù)測(cè)試

  • 半導(dǎo)體器件
    可靠性測(cè)試

  • 半導(dǎo)體器件
    超短脈沖測(cè)試

  • 非易失性
    存儲(chǔ)器測(cè)試

  • 光電器件和
    微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試

  • 二維材料
    器件測(cè)試

  • 金屬材料
    測(cè)試

  • 新型先進(jìn)材料
    與器件測(cè)試

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