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參數(shù)化測試

首頁 產(chǎn)品與技術(shù) 測試系統(tǒng)

FS-MEMS

傳感微結(jié)構(gòu)參數(shù)測試儀

MEMS傳感器測試 動(dòng)態(tài)與靜態(tài)參數(shù) Q值與諧振頻率

FS-MEMS 是一款專用于傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)測試功能的系統(tǒng)，為 MEMS 傳感器電學(xué)參數(shù)提供晶圓級解決方案，可滿足不同客戶的定制化需求。

  • 內(nèi)置數(shù)字 IO 模塊，搭配智能探卡，無需更換線纜，通過一鍵操作即可完成。

  • 支持動(dòng)態(tài)和靜態(tài)參數(shù)測試，全面覆蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、漏電、電阻、諧振頻率、Q 值、正交系數(shù)、-3dB 帶寬等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測試。

  • 硬件基于 PXI 架構(gòu)，具有強(qiáng)大的系統(tǒng)擴(kuò)展性，支持多通道并行測試，從而提高測試效率。

  • 系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測試軟件，為客戶提供友好的參數(shù)設(shè)置界面，操作簡單，可輕松完成參數(shù)設(shè)置。

  • 包含多項(xiàng)功能模塊，可測試角速度計(jì)（陀螺儀）、加速度計(jì)、壓力傳感器、光流量計(jì)、紅外傳感器等基于 MEMS 結(jié)構(gòu)的微傳感器。


下載產(chǎn)品單頁

產(chǎn)品亮點(diǎn)

  • 設(shè)置便捷

    無需換線
    一鍵完成動(dòng)靜態(tài)參數(shù)

  • 測試高效

    支持多通道并行測試
    提高測試效率

  • 界面友好

    友好的參數(shù)設(shè)置界面、操作簡單
    可輕松完成參數(shù)設(shè)置

產(chǎn)品應(yīng)用

  • MEMS慣性傳感器
    測試
    角速度計(jì)&加速度計(jì)

  • MEMS
    壓力傳感器
    測試

  • 基于微鏡陣列的
    MOEMS傳感器
    測試

  • 多軸復(fù)合式
    MEMS傳感器
    測試

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