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概倫電子發(fā)布新一代噪聲測(cè)試系統(tǒng),樹立行業(yè)新標(biāo)桿

2016-12-29

中國(guó) 北京,2016年11月29日,集成電路納米級(jí)器件建模和千兆級(jí)電路仿真的廠商概倫電子發(fā)布了新一代低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)9812DXTM,刷新了在噪聲測(cè)量速度、系統(tǒng)精度和單一系統(tǒng)所支持的噪聲測(cè)試條件和覆蓋器件范圍等方面的業(yè)界新標(biāo)準(zhǔn)。 

作為“黃金標(biāo)準(zhǔn)”測(cè)試系統(tǒng)9812B和9812D的改進(jìn)版本,9812DX為先進(jìn)半導(dǎo)體工藝開發(fā)、器件建模和高端電路設(shè)計(jì)提供了快速和完整的低頻噪聲測(cè)試和分析解決方案,面對(duì)先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)下噪聲測(cè)試數(shù)量“爆炸式”增長(zhǎng)的挑戰(zhàn),可以滿足各種不同工藝平臺(tái)下半導(dǎo)體器件和集成電路低頻噪聲測(cè)試的需求。  

與9812D相比,9812DX的系統(tǒng)精度提高了超過十倍,噪聲測(cè)試速度提升了3~10倍以上,并支持更寬的測(cè)試條件和更為全面的待測(cè)器件種類。同時(shí),9812DX提升了系統(tǒng)支持的電壓范圍至最高200V,并可以支持更低的電流至0.1nA以下。  

概倫電子董事長(zhǎng)兼總裁劉志宏博士說:“9812DX是技術(shù)上的一次重大突破,通過其硬件指標(biāo)、系統(tǒng)性能和噪聲測(cè)試能力,進(jìn)一步加強(qiáng)了我們?cè)谌?/f噪聲測(cè)試領(lǐng)域的地位,并確保了我們的解決方案可以滿足當(dāng)前和未來先進(jìn)工藝開發(fā)和高端集成電路設(shè)計(jì)的需求。”

測(cè)試能力  

9812DX提供了晶圓級(jí)噪聲測(cè)試精度和帶寬,用戶可以在0.03Hz-10MHz的頻率范圍內(nèi)用9812DX來測(cè)量超低電流如0.1nA以下的低頻噪聲,從而滿足集成電路設(shè)計(jì)中器件偏置在弱反型區(qū)或光電二極管和圖像傳感器暗電流的噪聲測(cè)量要求。  

另外,9812DX可以支持高達(dá)200V的器件偏置和全面的測(cè)試條件和待測(cè)器件種類,如體硅MOSFET、FinFET、FD-SOI、LDMOS、BJT、各種電阻(阻值范圍在10到10M歐姆之間的電阻和壓控電阻)、二極管(如光電、激光和齊納二極管)、傳感器以及封裝集成電路等。

9812DX是市面上能夠同時(shí)支持高阻抗和低阻抗器件的高精度噪聲測(cè)試的系統(tǒng),以單一系統(tǒng)支持完整的工藝和器件類型,包括16納米、14納米到10納米和7納米等先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)。

較快的測(cè)試系統(tǒng)

通過改進(jìn)硬件架構(gòu)的設(shè)計(jì)和提升軟件算法的執(zhí)行效率,9812DX刷新了晶圓級(jí)低頻噪聲測(cè)試速度的記錄,其典型噪聲測(cè)試速度在9812D的基礎(chǔ)上提升了3~10倍以上,可以在10秒內(nèi)完成單一偏置條件的測(cè)試,從而幫助用戶在最短的時(shí)間內(nèi)獲得精確的測(cè)試數(shù)據(jù),滿足先進(jìn)工藝開發(fā)中的工藝質(zhì)量監(jiān)控、工藝的隨機(jī)變化分析和高端集成電路設(shè)計(jì)中大量噪聲數(shù)據(jù)測(cè)試的需求。

概倫電子同時(shí)提供更高測(cè)試帶寬的并行噪聲測(cè)試系統(tǒng)M9800,與9812DX相比,可以在一臺(tái)晶圓探針臺(tái)上實(shí)現(xiàn)2-4倍的測(cè)試帶寬的提升,滿足更高端的測(cè)試要求。

“黃金標(biāo)準(zhǔn)”的噪聲測(cè)試系統(tǒng)

概倫電子噪聲測(cè)試系統(tǒng)9812B,及其前身9812A和9603系列,已被眾多半導(dǎo)體工藝和研究機(jī)構(gòu)所采用,被公認(rèn)為業(yè)界的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”。其于2013年推出的換代產(chǎn)品9812D也已被眾多半導(dǎo)體代工廠、IDM公司和無晶圓集成電路設(shè)計(jì)公司作為標(biāo)準(zhǔn)噪聲測(cè)試系統(tǒng)所采用,應(yīng)用于眾多先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的技術(shù)開發(fā)和集成電路設(shè)計(jì)。


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